威尼斯wns888官网-vns9848威尼斯城

深圳市科瑞环保设备有限企业
深圳市科瑞环保设备有限企业
当前位置 :威尼斯wns888官网 威尼斯wns888官网-vns9848威尼斯城 行业资讯 超纯水设备先容及应用

超纯水设备先容及应用

发布时间:2020年11月26日 14时55分

一、超纯水的概念及应用

超纯水又称UP水,既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ·cm,或接近18.3MΩ·cm极限值。

超纯水主要应用于微电子行业、半导体行业、电力行业、光电行业、光伏行业和实验室以及其他超纯水应用领域。

 1.png

图一 净得瑞超纯水设备

二、纯化水和超纯水的区别

(1)电导率不同,纯化水电导率在1-5μS/cm?之间,超纯水的电导率为0.056μS/cm;?

(2)制造的难易程度不同,目前市场上使用的纯水基本上都是经过反渗透、蒸馏等方法制得,而超纯水是纯水的基础上还要经过光氧化技术、精处置和抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的;?

(3)对微量元素的要求不同。比如重金属、细菌、微粒数等指标也大不相同,纯水杂质含量是ppm?级,而超纯水为ppb?级1ppb为1ppm的千分之一,简单来讲超纯水中已经没有什么杂质,接近于理论上的水;?

(4)使用的领域也不相同,纯水一般称呼纯净水,基本不保留水中的矿物质,pH值在6-7之间,为弱酸性,一般用于透析等医疗用水,或者实验室、电子化工等特殊用水;?

(5)对输送管道材质的要求也不相同,超纯水对输送管道材质的要求要比纯水严格得多。

三、超纯水的水质标准

(1)《国家标准:电子级水(GB/T 11446.1-2013)》,

将电子级用水划分为4级EW1-4,对用水的电导、全硅、微颗粒数、细菌个数、金属元素、理化指标及TOC都有明确要求。例如EW1电阻率≥18MΩ·cm(25℃)的情况下,全硅≤2μg/L等等。

(2) 美国电子和半导体工业用超纯水的标准指南(ASTM-D5127)

美国电子和半导体工业用超纯水的标准指南(ASTM-D5127),将电子和半导体工业用超纯水划分为7级,相较于国标电子级用水,美标对水质的划分更加细更加严格。 标准指南中增加了对半导体有影响的金属元素、及溶解氧的检测。

四、常用的水处理工艺

如图一所示,针对不同的水质要求,可采用不同的处理技术,凝聚沉淀、砂过滤、活性炭吸附、以及筒式过滤这四种工艺技术可以去除水中的悬浮物和微粒;反渗透技术可以有效去除有机物、离子、微粒微生物、热源;离子交换技术可以除去水中的离子;紫外线杀菌可以去除微生物和有机物;膜滤和超滤可以除却原水中的微生物和热源;多效蒸馏可以去除水中的有机物和热源。通过一系列的技术可以使得原水变成超纯水,用于工业车间生产用水。

 2.png

图二 工艺用水处理技术

超纯水主流工艺为三种,分别为:

(1)多介质过滤器→活性炭过滤器→单级RO→再生混床→抛光混床

(2)多介质过滤器→软化器→活性炭过滤器→单级RO→EDI→抛光混床

(3)叠片式过滤器→超滤→双级RO→EDI→抛光混床→终端超滤

相对来说另外两种工艺来讲,第一种工艺是比较老旧的超纯水制作手法,而最后一种渗透/电去离子(RO/EDI)集成膜技术是近年来发展迅速、相对成熟并得到大规模工业应用的新一代超纯水制造技术,在国际上已逐渐成为纯水技术的主流。RO/EDI的集成膜技术在电子企业用水、实验室纯水系统、电厂用水等方面具有独特的优势。

五、应用案例

案例一:某企业定制30t/h超纯水设备,应用于电子行业

 3.png

图三 净得瑞超纯水设备

(1)工艺类型和水质要求

采用预处理+双级RO+EDI工艺,产水水质符合电子级水标准。

(2)技术指标

 4.png

图四 技术指标

(3)设备特点

一键式启动、操作、维护简单方便,设有就地控制柜,方便就地操作及维护;系统主机一体化设计,模块化安装,减少占地面积。

案例二:某企业定制40t/h超纯水设备,应用于环保新能源行业

 5.png

图五 净得瑞超纯水设备

(1)工艺类型和水质要求

采用预处理+双级RO工艺,产水水质符合电子级水标准。

(2)技术指标

 6.png

图六 技术指标

(3)设备特点

系统可同时产水及独立产水一用一备,分为两套独立设备,耗材更换时不需停水,可24小时运行。

案例三:某企业定制30t/h超纯水设备,应用于光电行业

 7.png

图七 净得瑞超纯水设备

(1)工艺类型和水质要求

采用预处理+双级RO+EDI+抛光混床工艺,产水水质符合电子级水标准。

(2)技术指标

 8.png

图八 技术指标

(3)设备特点

关键报警记录通过短信发送到指定人员手机及远程监控,方便日常维护与管理。

电话

13316843982

客服

留言

顶部

威尼斯wns888官网|vns9848威尼斯城

XML 地图 | Sitemap 地图